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四乙氧基矽烷（Tetraethyl orthosilicate，簡稱 TEOS），化學式為 Si(OC₂H₅)₄，是一種無色透明的液體。它是正矽酸（Orthosilicic acid）的乙酯，在工業與科學研究中極為重要，特別是作為二氧化矽（SiO₂）的前驅物。 
基本性質

• 外觀：無色、透明液體，具有微甜且類似酒精的氣味。
• 溶解性：微溶於水（遇水會水解），可與乙醇混溶，溶於乙醚及多種有機溶劑。
• 反應性：對水分敏感，在水或濕氣存在下會發生水解與縮合反應，最終轉化為固態二氧化矽。
• 物理常數：
  • CAS 編號：78-10-4。
  • 沸點：約 168^oC。
  • 密度(20^oC)：1.055~1.065g/ml。 

1. 溶膠-凝膠法 (Sol-Gel Process)：TEOS 是合成二氧化矽氣凝膠、納米顆粒及薄膜的最常用原料。
2. 半導體產業：在化學氣相沈積（CVD）製程中作為矽源，用於製造絕緣層及介電薄膜。
3. 表面處理與塗料：
   1. 用於石材加固，修復受損的歷史建築或雕塑。
   2. 作為抗腐蝕塗料（如富鋅油漆）的基材。
   3. 應用於光學玻璃處理，增加透光率。
4. 交聯劑：用於有機矽聚合物（如矽橡膠）的交聯固化。 

• 危險性：屬於易燃液體，且對眼睛、呼吸道及皮膚具有刺激性。
• 儲存：應存放於陰涼、乾燥、通風良好處，並嚴格密封以防止與空氣中的水分發生反應。 

※更詳細的資料，請參考安全資料表（SDS）